Електроника
По-бързи, по-малки, по-ефективни: напредъкът в микроелектрониката е тясно свързан с лазерната техника.
Постоянната тенденция за миниатюризиране и екстремните количества детайли са две от най-важните особености на електронната промишленост. Чрез непостигнатата досега прецизност и високата възможност за автоматизация лазерната техника предлага индустриални решения за тези предизвикателства. Лазерите на TRUMPF играят основна роля при производството на компютърни чипове от най-ново поколение. В допълнение лазерът позволява изпълнението на множество други стъпки от процеса, като рязане и пробиване на силициеви пакети, печатни платки или цели електронни модули. Освен това генераторите на TRUMPF Hüttinger осигуряват надеждно и прецизно енергията за процесите на нанасяне на покрития и ецване при производството на силициеви пакети.
Полупроводникова промишленост
Лазерите на TRUMPF произвеждат повторяеми и висококачествени продукти, които са предназначени за електрониката, също и в много големи количества. Повече от 1 000 лазера с ултракъси импулси от TRUMPF работят денонощно 365 дни в годината в производствените предприятия на световните лидери в отрасъла. В зависимост от областта на приложение TRUMPF може да предостави решение под формата на машина или отделни пакети лазерни технологии. И в двата случая клиентите се възползват от международно организираната сервизна мрежа на групата TRUMPF.
Високопроизводителните чипове на бъдещето
Появата на микроелектрониката, а с нея и основата на днешните компютри и смартфони, би била немислима без лазерната техника. Логическите чипове и чиповете за съхранение имат структури от порядъка на нанометри и могат да бъдат създадени само чрез сложни процеси на осветяване с лазерно лъчение. Конвенционалният подход с УВ лъчение от ексимерни лазери все повече се доближава до своята граница. По-малките структури в бъдеще ще могат да бъдат генерирани само с по-къси дължини на вълните в екстремния ултравиолетов диапазон (EUV). Заедно с най-големите производители на литографски системи ASML и специалиста в оптиката Zeiss TRUMPF работи в дългогодишно и интензивно сътрудничество по този метод EUV литографията и разработи уникалната в света лазерна система CO2. Поради това за в бъдеще в много високо мощностни чипове ще бъде скрита частичка технология на TRUMPF.
Производство на чипове
Плазмените генератори на TRUMPF Hüttinger играят основна роля и при същинското производство на чипове. Качеството на електрическото захранване определя качеството и прецизността на генерираната плазма. Тази плазма се използва в следващата стъпка за легиране (вкарване на йони), отделяне (PECVD, ALD) или отстраняване (плазмено ецване) на различни материали за производство на полупроводници. По време на този процес се отделят отровни газове, които се чистят ефективно от специална система в генераторите на TRUMPF Hüttinger, така че емисиите на вредните за околната среда парникови газове да се поддържат на възможно най-ниско ниво при производството на полупроводници.
Студено прецизно обработване на чипове, пакети и платки
Следващото предизвикателство за процесната верига в електрониката след осветяването и създаването на веригите върху силициевите пакети е разделянето на отделните чипове. За да се постигнат възможно най-малки фуги на среза и високо качество на ръбовете, както и за да не се повредят чувствителните чипове вследствие на температурното въздействие, при разделянето се използват лазери с ултракъси импулси от TRUMPF. Те позволяват обработка на материала без нежелано топлинно въздействие и най-високото ниво на прецизност в лазерното обработване. Тези лазери са подходящи и за изрязване на чувствителни модули (System-in-Package), обработка на платки от няколко материала и пробиването на така наречените Mikro-Vias в силиций и стъкло. Освен това отрасълът използва лазери от TRUMPF за целенасочено снемане на слоеве, рязане на фолио и надписване.
Отглеждане на кристали
Производството на синтетични кристали е основата на производството на полупроводници, а с това и основата на цялата комуникационна и медийна техника. При него монокристални слоеве растат върху монокристални субстрати от същия материал, като кристалографският ред се запазва. Наред с други приложения, методът се използва при производството на светодиоди. Индукционните генератори TRUMPF Hüttinger позволяват хомогенно и стабилно разпределение на температурата чрез бързо и прецизно регулиране на изходящите величини.